Oxy, nitơ, argon và các loại khí hiếm khác được sản xuất bằng thiết bị tách khí được sử dụng rộng rãi trong ngành thép, công nghiệp hóa chất, lọc dầu, thủy tinh, cao su, điện tử, chăm sóc sức khỏe, thực phẩm, kim loại, phát điện và các ngành công nghiệp khác.

1. Nguyên lý thiết kế của nhà máy này dựa trên điểm sôi khác nhau của từng loại khí trong không khí. Không khí được nén, làm lạnh sơ bộ và loại bỏ H2O và CO2, sau đó được làm lạnh trong bộ trao đổi nhiệt chính cho đến khi hóa lỏng. Sau khi tinh chế, oxy và nitơ sản xuất có thể được thu hồi.
2. Nhà máy này sử dụng công nghệ lọc khí MS với quy trình giãn nở tuabin tăng áp. Đây là nhà máy tách khí thông dụng, áp dụng quy trình nạp liệu và tinh chế hoàn chỉnh để sản xuất khí argon.
3. Không khí thô đi qua bộ lọc khí để loại bỏ bụi và tạp chất cơ học, sau đó đi vào máy nén tuabin khí, tại đây không khí được nén đến áp suất 0,59MPaA. Tiếp theo, không khí được đưa vào hệ thống làm mát sơ bộ, tại đây không khí được làm mát đến 17℃. Tiếp theo, không khí được dẫn đến bể hấp phụ 2 sàng phân tử, hoạt động lần lượt để loại bỏ H2O, CO2 và C2H2.

* 1. Sau khi được làm sạch, không khí trộn lẫn với không khí giãn nở được gia nhiệt lại. Sau đó, không khí được nén bởi máy nén áp suất trung bình để chia thành 2 luồng. Một phần đi đến bộ trao đổi nhiệt chính để làm lạnh đến -260K và được hút từ phần giữa của bộ trao đổi nhiệt chính để vào tua bin giãn nở. Không khí giãn nở trở lại bộ trao đổi nhiệt chính để được gia nhiệt lại, sau đó, nó chảy đến máy nén tăng áp khí. Phần không khí còn lại được tăng áp bởi bộ giãn nở nhiệt độ cao, sau khi làm mát, nó chảy đến bộ giãn nở tăng áp nhiệt độ thấp. Sau đó, nó đi đến hộp lạnh để được làm lạnh đến ~170K. Một phần của nó vẫn sẽ được làm mát và chảy xuống đáy cột dưới thông qua bộ trao đổi nhiệt. Và không khí còn lại được hút đến bộ giãn nở nhiệt độ thấp. Sau khi giãn nở, nó được chia thành 2 phần. Một phần đi đến đáy cột dưới để chỉnh lưu, phần còn lại trở lại bộ trao đổi nhiệt chính, sau đó nó chảy đến bộ tăng áp khí sau khi được gia nhiệt lại.
2. Sau khi tinh chế sơ bộ ở cột dưới, không khí lỏng và nitơ lỏng tinh khiết được thu gom ở cột dưới. Nitơ lỏng, không khí lỏng và nitơ lỏng tinh khiết được dẫn lên cột trên thông qua bộ làm mát không khí lỏng và nitơ lỏng. Khí lỏng được tinh chế lại ở cột trên, sau đó oxy lỏng có độ tinh khiết 99,6% được thu gom ở đáy cột trên và được đưa ra khỏi hộp lạnh để sản xuất.
3. Một phần khí argon ở cột trên được hút vào cột argon thô. Cột argon thô có 2 phần. Phần hồi lưu của phần thứ hai được đưa lên đỉnh cột thứ nhất bằng bơm lỏng dưới dạng hồi lưu. Phần này được chỉnh lưu trong cột argon thô để thu được argon thô 98,5% Ar, 2ppm O2. Sau đó, phần này được đưa vào giữa cột argon tinh khiết thông qua bộ phận bốc hơi. Sau khi chỉnh lưu trong cột argon tinh khiết, argon lỏng (99,999% Ar) có thể được thu hồi ở đáy cột argon tinh khiết.
4. Nitơ thải từ đỉnh cột trên chảy ra khỏi hộp lạnh đến máy lọc dưới dạng không khí tái sinh, phần còn lại đi đến tháp giải nhiệt.
5. Nitơ từ đỉnh cột phụ của cột trên chảy ra khỏi hộp lạnh khi sản xuất thông qua bộ làm mát và bộ trao đổi nhiệt chính. Nếu không cần nitơ, có thể đưa nitơ vào tháp giải nhiệt nước. Nếu công suất lạnh của tháp giải nhiệt nước không đủ, cần lắp đặt máy làm lạnh.